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第505章 光刻机：烛龙降世！！！（第5页）

“这个消息一旦公布，影响力会是核弹级别...我们想等你回来亲自决定。”

第二天，廊坊某片工业区的最深处。

从外表看，烛龙基地就是一个普通的精密机械厂，门口连个像样的招牌都没有。

但走进厂区深处，穿过三道指纹和虹膜验证的安全门，里面完全是另一个世界。

一座恒温恒湿、洁净度达到ISO Class 1的超净车间里，几十个穿着无尘服的工作人员在忙碌。

而最显眼的，正是车间正中间那个三层楼高的庞然大物。

那就是“烛龙”——中国第一台自主设计的ArF浸没式光刻机！

烛龙项目总工师姓陈，六十来岁，戴着酒瓶底一样的眼镜。

陈总工是八十年代的公派留学生，在硅谷干了十几年后，于2000年被李向阳亲自挖回国。

这九年里，他几乎没离开过这座工厂。

见到李向阳，陈总师连寒暄都顾不上，直接拉着他走到控制台前。

“李总，昨天晚上试运行八小时，线宽精度稳定在38纳米...已经达到量产标准了！”

李向阳看着屏幕上那根绿色曲线，心脏重重跳了一下。

38纳米！！！

那些国际巨头最先进的光刻机，精度也就这个水平了。

“良品率呢？”

“在咱们自己的试验线上跑了三批次晶圆，平均良率87.2%。”

陈总师推了推眼镜。

“咱们…咱们成了！”

三天后，四九城国家会议中心，五百人的发布厅座无虚席。